Scanner

Dải quét phương X-Y

100 µm x 100 µm

Dải quét phương Z

15 µm

Kích thước mẫu

Đường kính mẫu lớn nhất

90 mm

Chiều cao mẫu lớn nhất

25 mm

Khối lượng mẫu lớn nhất

≤600 g

Bộ cơ giới

Phương X-Y

Hành trình 100 mm

Phương Z

Hành trình 85 mm

Độ lặp lại vị trí (uni-directional)

<1 µm

Video microscope

Camera

Màu, 5 megapixel, CMOS sensor

Thị trường

1.73 mm x 1.73 mm

Spatial resolution

5 µm

Focus

Motorized focus

Camera tổng thể

Camera

Màu, 5 megapixel, CMOS sensor

Thị trường

40 mm x 40 mm

Spatial resolution

50 µm

Camera mặt bên

Camera mặt bên

Đen trắng, khoảng nhìn 25 mm

Các chế độ tiêu chuẩn

Hình ảnh

Chế độ tiếp xúc (contact), chế độ tapping (bao gồm hình ảnh pha), lateral force microscopy

AFM

Kích thước

490 mm x 410 mm x 505 mm

Khối lượng AFM

51.1 kg

Kích thước bộ kiểm soát

340 mm x 305 mm x 280 mm

Khối lượng bộ kiểm soát

7.8 kg